Etude de l’effet de la température et de la durée de diffusion du phosphore à partir des couches PSG sur la jonction PN.
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Date
2023
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
FGEI.UMMTO
Abstract
Dans ce travail, nous avons étudié l'effet de la température et de la durée de diffusion du phosphore à partir des couches PSG sur la jonction n+. Cela se fait en utilisant un four à tube de quartz, des plaquettes de silicium multi-cristallin de type « p » et des sources de préforme
comme source de phosphore.
Nous avons caractérisé nos échantillons par diverses techniques de caractérisation tel que :- Les mesures de la durée de vie de nos échantillons par la technique QSSPC.
- Les mesures électriques pour la détermination des propriétés électriques de nos échantillons par les techniques "pointe chaude", "quatre pointes" et "Effet Hall".
- Informations moléculaires et nature chimique de nos échantillons analysés par spectroscopie infrarouge à transformée de Fourier (FTIR).
Description
80p .; ill .; 30cm (CD-ROM)
Keywords
Diffusion, Pré-dépôt, PSG, Drive-in, FTIR, QSSPC
Citation
Microélectrnique